Yarı İletken Ekipmanlar ve Temiz Odalar için 5 Eksenli Frezelenmiş Seramik Yalıtkanlar

Yarı iletken üretimi ve temiz oda ortamlarının yüksek riskli dünyasında, her bileşenin kusursuz performans sunması gerekir.PFT, el işçiliğinde uzmanlaştık5 eksenli frezelenmiş seramik izolatörlerhassasiyeti ve güvenilirliği yeniden tanımlayan 20'den fazlaYılların uzmanlığıyla çözümlerimiz, yarı iletken ekipmanların zorlu taleplerini karşılamak üzere tasarlanmıştır ve ultra hassas ortamlarda termal stabilite, elektriksel yalıtım ve kontaminasyonsuz çalışma sağlar.

Neden 5 Eksenli Frezelenmiş Seramik İzolatörlerimizi Seçmelisiniz?

1.Gelişmiş Üretim Yetenekleri

Tesisimiz şu donanıma sahiptir:son teknoloji 5 eksenli CNC freze makineleri, alümina (Al₂O₃), silisyum karbür (SiC) ve alüminyum nitrür (AlN) gibi gelişmiş seramiklerin şekillendirilmesinde mikron düzeyinde doğruluk sağlar. Geleneksel yöntemlerin aksine, 5 eksenli işleme, gofret kaldırma pimleri, biriktirme odası parçaları ve plazmaya dayanıklı yalıtkanlar gibi bileşenler için kritik öneme sahip karmaşık geometrilere olanak tanır.

Temel Özellikler:

•Kesinlik:ASML litografi araçlarına veya Lam Research aşındırma sistemlerine kusursuz entegrasyon için ±0,005 mm tolerans.
•Malzeme Çok Yönlülüğü:%99,8 alümina, yüksek saflıkta SiC ve diğer ileri seramikler için optimize edilmiştir.
•Yüzey Kaplaması:ISO Sınıf 1 temiz odalarda partikül oluşumunu en aza indirmek için Ra <0,2μm.

2.Tescilli Proses Mühendisliği

Mühendislerimiz geliştirdikapalı devre proses kontrolleriİşleme sırasında seramiğin kırılganlığına uyum sağlayan kuru frezeleme tekniklerini gerçek zamanlı titreşim sönümlemeyle birleştirerek, aşırı termal döngülerde (1.600°C'ye kadar) bile çatlaksız yüzeyler ve uzatılmış bileşen ömürleri elde ediyoruz.

Yenilik Gündemi:

•Stres Giderme Protokolleri:CVD uygulamaları için AlN yalıtkanlardaki mikro kırıkları en aza indirin.
•İşleme Sonrası İşlemler:HIP (Sıcak İzostatik Presleme) yoğunluğu ve korozyon direncini artırır.

3.Sıkı Kalite Güvencesi

Her yalıtkan birtakım değişikliklere uğrar12 aşamalı denetim, içermek:

•CMM (Koordinat Ölçüm Makinesi)kritik boyutların doğrulanması.
•Helyum sızıntı testivakum uyumluluğu için.
•EDS (Enerji Dağıtıcı X-ışını Spektroskopisi)maddi saflığı doğrulamak için.

BizimISO 9001/14001 sertifikalı sistemHammadde tedarikinden (CoorsTek gibi 1. kademe tedarikçilerden temin edilir) son paketlemeye kadar izlenebilirliği sağlar.

Uygulamalar: Hassasiyetin Performansla Buluştuğu Nokta

Yalıtkanlarımıza güveniyoruz:

•Aşındırma ve Biriktirme Araçları:Applied Materials™ modüllerinde plazma direnci için SiC kaplı bileşenler.
•İyon İmplanterleri:Gofret kaymasını önlemek için antistatik kaplamalı alümina kaldırma pimleri.
•Metroloji Sistemleri:EUV litografi aşamaları için düşük termal genleşmeli izolatörler.

Vaka Çalışması:Önde gelen bir yarı iletken OEM'i, 300 mm gofret işlemede rakip parçalardan daha iyi performans gösteren özel tasarımlı SiC duş başlıklarımıza geçtikten sonra takım arıza süresini %40 oranında azalttı.

Üretimin Ötesinde: Bir Ortaklık Yaklaşımı

•Hızlı Prototipleme:CAD dosyalarınızı gönderin ve 7 gün içinde işlevsel prototipler alın.
•Tesis İçi Temiz Oda Paketleme:Doğrudan alet entegrasyonu için isteğe bağlı Sınıf 10 temiz oda montajı.
•Ömür Boyu Teknik Destek:Mühendislerimiz, bileşen kullanım ömrünü uzatmak için aşınma analizi ve yeniden işleme hizmetleri sunar.